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歐盟納米壓印光刻技術實現(xiàn)低成本批量生產(chǎn)感應薄膜
來源： 科技部
作者：南皮縣產(chǎn)學研科技成果轉化服務中心
日期：
2014-12-20
納米結構傳感器陣列（NSA），以其在單一檢測裝置有效檢測樣品中分子或分子一部分的大面積多參數(shù)傳感優(yōu)勢，而在制藥業(yè)、環(huán)保等其它行業(yè)得到廣泛應用。但直到目前，其實驗室規(guī)模小批量生產(chǎn)導致相對較高的制造成本，一定程度上限制了新興技術在更大范圍內(nèi)的商業(yè)化推廣應用。歐盟第七研發(fā)框架計劃（FP7）提供490萬歐元資助，總研發(fā)投入690萬歐元，由歐盟6個成員國及聯(lián)系國芬蘭（總協(xié)調）、英國、德國、荷蘭、奧地利和瑞士，9家企業(yè)聯(lián)合科技界組成的歐洲PHOTOSENS研發(fā)團隊。從2011年2月開始，致力于NSA低成本大規(guī)模工業(yè)化制造的關鍵技術與生產(chǎn)工藝突破，利用最先進的納米壓印光刻（Nanoimprint Lithography）技術，整合卷到卷（R2R）生產(chǎn)制造工藝，實現(xiàn)了低成本大批量制造生產(chǎn)大面積NSA的工業(yè)流程設計和設備樣機開發(fā)，奠定了NSA進一步商業(yè)化推廣應用的基礎。
PHOTOSENS研發(fā)團隊，整合納米壓印光刻技術、基底納米功能沖壓工藝和R2R生產(chǎn)工藝流程，為規(guī)?；圃旒{米結構裝置和大面積光子結晶化合物感應薄膜，開起了嶄新路徑。研發(fā)團隊已成功開發(fā)出3種不同類型的全聚合物多參數(shù)感應裝置生產(chǎn)制造工藝及設備樣機。例如，應用于環(huán)保行業(yè)檢測空氣質量的甲醛（Formaldehyde）光子結晶感應裝置；應用于制藥和食品安全行業(yè)檢測布洛芬（Ibuprofen）化合物成分的感應裝置；和應用于多行業(yè)的靈活嵌入式一次性多參數(shù)芯片檢測裝置。
目前，研發(fā)團隊主要聚焦于基于3D打印技術的單模波導感應檢測裝置的生產(chǎn)制造工藝開發(fā)，正在進行工藝流程驗證和結構優(yōu)化。研發(fā)團隊已申請數(shù)10項發(fā)明專利和在國際著名學術刊物上發(fā)表9篇高質量論文。
PHOTOSENS研發(fā)團隊，整合納米壓印光刻技術、基底納米功能沖壓工藝和R2R生產(chǎn)工藝流程，為規(guī)?；圃旒{米結構裝置和大面積光子結晶化合物感應薄膜，開起了嶄新路徑。研發(fā)團隊已成功開發(fā)出3種不同類型的全聚合物多參數(shù)感應裝置生產(chǎn)制造工藝及設備樣機。例如，應用于環(huán)保行業(yè)檢測空氣質量的甲醛（Formaldehyde）光子結晶感應裝置；應用于制藥和食品安全行業(yè)檢測布洛芬（Ibuprofen）化合物成分的感應裝置；和應用于多行業(yè)的靈活嵌入式一次性多參數(shù)芯片檢測裝置。
目前，研發(fā)團隊主要聚焦于基于3D打印技術的單模波導感應檢測裝置的生產(chǎn)制造工藝開發(fā)，正在進行工藝流程驗證和結構優(yōu)化。研發(fā)團隊已申請數(shù)10項發(fā)明專利和在國際著名學術刊物上發(fā)表9篇高質量論文。
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