型號(hào)
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┃XLS-2K3T1-30
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測(cè)量范圍
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1-30mm
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分辨率
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0.5μm
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200C時(shí)的測(cè)量精度
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±0.01mm在測(cè)量區(qū)中央
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重復(fù)性(±20)
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±3μm
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工件定位誤差
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±8μm
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測(cè)量區(qū)
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20×40mm
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激光波長(zhǎng)
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650mm(可見激光LD)
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掃描速度
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300scans/s
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使用溫度
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00C至400C
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